在物體表面上，電子的不均衡性導(dǎo)致了電子放電.這種電子不均衡性產(chǎn)生了電場(chǎng)，電場(chǎng)可進(jìn)行測(cè)試，也會(huì)影響一定距離中的其他物體。靜電放電可定義為：在不同電位的兩物體間電荷的轉(zhuǎn)移。靜電放電可改變半導(dǎo)體器件的電性能，使之降級(jí)直至損毀。靜電放電也可能干擾正常的電子系統(tǒng)操作，導(dǎo)致設(shè)備故障或失靈。靜電引起的另一個(gè)問題發(fā)生在潔凈室，帶電的表面吸附著污物，很難從環(huán)境中清除。這些微拉吸附在硅晶片的表面或器件的引腳上時(shí)，就會(huì)引起隨機(jī)的晶片缺陷并降低質(zhì)量。

已知“摩擦帶電”是由于物體接觸和分開產(chǎn)生的靜電荷，這就涉及物體之間電子的轉(zhuǎn)移。當(dāng)兩物體接觸然后分開時(shí)，如果電子從一個(gè)物體表面向另一個(gè)物體表面轉(zhuǎn)移，物體失去電子和得到電子完全取決于兩物質(zhì)的特性。失去電子的物體帶有正電，而獲得電子的物體就帶有負(fù)電。物體接觸、電子轉(zhuǎn)移和分開的過(guò)程是比較復(fù)雜的。摩擦產(chǎn)生的電荷數(shù)量受接觸范圍、分開速率、相關(guān)濕度和其他因素影響。一且物體產(chǎn)生了電荷，就具有了“靜電”電荷(如果它滯留在物體上)。該電荷在物體上進(jìn)行轉(zhuǎn)移，就產(chǎn)生了靜電放電現(xiàn)象。如實(shí)際放電電路電阻和接觸電阻等附加因素在接觸表面之間的界面上也影響實(shí)際放電，而此類放電就會(huì)引起損壞。靜電產(chǎn)生的典型的電壓示例見表

    物體上產(chǎn)生靜電荷也有其他的方式。例如，與另一個(gè)帶電物體出現(xiàn)感應(yīng)現(xiàn)象、離子轟擊或者接觸等方式。然而，摩擦帶電是靜電產(chǎn)生最普遍的現(xiàn)象。兩種物體接觸和分開時(shí)，物體帶電極性和電荷量的多少由摩擦帶電系列排序來(lái)表示。所有的物體，包括水和空氣中的灰塵都可能被摩擦帶電。電荷產(chǎn)生的數(shù)覽、電荷的去向和速率都取決于物體的電特性。
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